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打贏(yíng)“六場(chǎng)戰役 ”| 晶圓鍵合設備突破關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現批量交付！

發(fā)布時(shí)間：

2025-05-23

概要：

   錨定價(jià)值創(chuàng )造，提升競爭能力。近期以來(lái)，2所各部門(mén)固本培元、蓄勢聚能，以集團公司責任書(shū)、電科裝備部署和2所差異化改革目標為重點(diǎn)任務(wù)，奮力打贏(yíng)科技創(chuàng )新攻堅戰、產(chǎn)業(yè)發(fā)展陣地戰、經(jīng)營(yíng)工作主動(dòng)戰、深化改革持久戰、風(fēng)險防范保衛戰、共建共享全域戰“六場(chǎng)戰役”，推進(jìn)高質(zhì)量發(fā)展行穩致遠。

   近日，由微電子裝備二部自主研發(fā)的晶圓鍵合設備成功突破系列關(guān)鍵模塊的技術(shù)瓶頸，實(shí)現多款設備的批量交付。這一里程碑式突破，不僅標志著(zhù)團隊在先進(jìn)封裝設備領(lǐng)域取得了重大進(jìn)展，更為先進(jìn)封裝系列設備的產(chǎn)業(yè)化奠定了堅實(shí)的基礎。

   晶圓鍵合技術(shù)是先進(jìn)封裝的核心環(huán)節，而鍵合工藝、對準精度等技術(shù)一直是行業(yè)難點(diǎn)。晶圓鍵合研發(fā)團隊通過(guò)創(chuàng )新材料優(yōu)化與工藝參數調控，成功突破陽(yáng)極鍵合等工藝的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，實(shí)現了鍵合強度的顯著(zhù)提升與表面缺陷的有效控制。通過(guò)優(yōu)化視覺(jué)算法與機械傳動(dòng)結構，將半自動(dòng)晶圓鍵合設備對準精度提升至國內領(lǐng)先水平，更好滿(mǎn)足MEMS、微系統等器件對高精度鍵合的需求，為客戶(hù)搶占技術(shù)制高點(diǎn)提供有力支撐。


   展望未來(lái)，微電子裝備二部將始終以客戶(hù)需求為導向，持續推進(jìn)設備研發(fā)及迭代升級，推動(dòng)鍵合設備向更高精度、更高效率方向發(fā)展，奮力打贏(yíng)科技創(chuàng )新攻堅戰、產(chǎn)業(yè)發(fā)展陣地戰，持續提升核心競爭力，為國內先進(jìn)封裝裝備發(fā)展貢獻力量。

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